脉冲负偏压对TiN-Cu复合膜结构与性能的影响

宋贵宏;张晶晶;杨肖平;李锋;陈立佳;贺春林

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沈阳工业大学学报
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沈阳工业大学学报 ›› 2014, Vol. 36 ›› Issue (3) : 275-279. DOI: 10.7688/j.issn.1000-1646.2014.03.07
材料科学与工程

脉冲负偏压对TiN-Cu复合膜结构与性能的影响

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Influence of negative pulse bias on structure and properties of TiN-Cu composite films

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2014, 36(3): 275-279 https://doi.org/10.7688/j.issn.1000-1646.2014.03.07
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}. 2014, 36(3): 275-279 https://doi.org/10.7688/j.issn.1000-1646.2014.03.07

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{{article.reference}}

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{{article.copyrightStatement_cn}}
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