长脉冲激光辐照单晶硅的表面形态

郭明;金光勇;高勋;张巍

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沈阳工业大学学报
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沈阳工业大学学报 ›› 2015, Vol. 37 ›› Issue (5) : 548-552. DOI: 10.7688/j.issn.1000-1646.2015.05.13
信息科学与工程

长脉冲激光辐照单晶硅的表面形态

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Surface morphology of monocrystalline silicon irradiated by long pulse laser

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