插指电极掩膜的设计与制造

杨丽娥

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沈阳工业大学学报
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沈阳工业大学学报 ›› 2017, Vol. 39 ›› Issue (2) : 159-164. DOI: 10.7688/j.issn.1000-1646.2017.02.08
机械工程

插指电极掩膜的设计与制造

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Design and fabrication for mask of interdigitated electrodes

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