使用反应分子动力学模拟碳化硅的原子去除机理

苑泽伟,唐美玲,郎玲琪,台立刚,高兴军

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沈阳工业大学学报
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沈阳工业大学学报 ›› 2021, Vol. 43 ›› Issue (1) : 42-47. DOI: 10.7688/j.issn.1000-1646.2021.01.08
机械工程

使用反应分子动力学模拟碳化硅的原子去除机理

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Simulation of atomic removal mechanism of silicon carbide using reactive molecular dynamics

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