金属氮化物硬质膜层“合金化”的研究进展

宋贵宏;靳伟;李锋;陈立佳

沈阳工业大学学报
沈阳工业大学学报 ›› 2007, Vol. 29 ›› Issue (5) : 513-518.
材料科学与工程

金属氮化物硬质膜层“合金化”的研究进展

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