脉冲偏压对铝合金上TiN膜生长的影响

宋贵宏;张硕;娄茁;李锋;陈立佳

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沈阳工业大学学报
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沈阳工业大学学报 ›› 2010, Vol. 32 ›› Issue (4) : 375-379.
材料科学与工程

脉冲偏压对铝合金上TiN膜生长的影响

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Influence of pulse bias on growth behavior of TiN film on Al alloy

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