基于实时位置补偿直接驱动XY平台轮廓控制

王丽梅;李兵

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沈阳工业大学学报
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沈阳工业大学学报 ›› 2011, Vol. 33 ›› Issue (1) : 9-13.
电气工程

基于实时位置补偿直接驱动XY平台轮廓控制

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Contour control for direct drive XY table base on realtime position compensation

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