铜合金表面Ti/TiN多层膜的制备、结构及其性能

宋贵宏;娄茁;熊光连;陈立佳

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沈阳工业大学学报
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沈阳工业大学学报 ›› 2012, Vol. 34 ›› Issue (4) : 391-396.
材料科学与工程

铜合金表面Ti/TiN多层膜的制备、结构及其性能

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Preparation, structure and performance of Ti/TiN multilayer film on surface of copper alloy

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