沈阳工业大学学报
基于AISG协议的便携式ALD控制器设计
吕燚,邹昆,李文生
Design of portable ALD control equipment based on AISG protocol
LÜ Yi,ZOU Kun,LI Wen-sheng
沈阳工业大学学报 . 2018, (1): 99 -103 .  DOI: 10.7688/j.issn.1000-1646.2018.01.18